牧野半导体设备真空腔体密封面解决方案

本期介绍牧野Smart Tool 的黑科技：Synchro Spinner(同步旋转) 加工功能。

Synchro Spinner(同步旋转) 加工功能是通过用加工中心，实现真空度要求高的半导体制造装置等的密封面同步旋转刮削加工。Synchro Spinner 加工功能的应用场景：

传统的加工方式，由于刀具旋转会产生从内侧到外侧的切削痕迹。真空密封面中氦气沿着切削痕迹泄漏，无法维持真空。为了保持高真空状态，必须进行研磨作业。

为了消除密封面内侧到外侧的切削痕迹，没有氦气泄露。需要采用车削的方式进行。同步旋转刮削的面也可以得到同样的效果。

工序革新

同步旋转加工装置实现工序革新

关键技术：

・与主轴旋转同步，刀尖扩展径向方向

・不需要U轴等特殊机构

・使用车床用ISO标准型刀片

・通过Cs轴的控制，可以调整刀片的移动量

・通过ATC实现自动换刀

加工案例：

适用牧野设备：

BT40/HSK-A63等

BT50/HSK-A100等