走进ASML工厂，看看顶级光刻机的庐山真面目

一颗小小的芯片上布满了密密麻麻的集成电路，其厉害之处就是这些电路微小到我们根本无法想象。而制造它们，“光刻机”是绕不开的终极神器。可以说，没有光刻机就没有芯片。在高端光刻机市场，荷兰ASML的光刻机一家独大，据说一台光刻机的价格就超过了10亿元。今天我们来看看光刻机的庐山真面目吧...

ASML的EVU芯片光刻机工作流程

走进ASML工厂看看光刻机庐山真面目